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直靶支杆
编号:SN20151013144824179
类别:系列阴极磁控靶
² 适用于SKY系列圆形磁控靶,与SKY系列靶支座配合使用;
² 安装方式为标准CF16法兰,,金属密封,密封性能好,密封件对温度要求低,适用于高真空及超高真空系统;
² 漏率<1×10-8Pa.L/S;
² 使用温度____~____℃。
型号
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L
(mm)
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L1
(mm)
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NZBGDZ019L350A
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(366.3)
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298
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NZBGDZ019L450A
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(466.3)
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398
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