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首页 ? 产品中心 ? LED衬底及窗口片设备 ? 泡生法蓝宝石晶体生长炉
设备用途
LED衬底，窗口材料，手机屏，军工领域，智能设备，大规模集成电路SOI 和SOS等等。
设备原理
泡生法：在真空环境中，通过电阻加热将三氧化二铝原料熔化，通过籽晶引导，采用精密上称重技术进行微量提拉生长优质光学级蓝宝石单晶。
产品特点：
1、PLC全自动操作系统
X2技术平台，晶体生长过程（除引晶外）实现全自动化智能操作，生长条件可高度复制；能抗干扰自动调节功率，保证晶体稳定性，实现人机界面控制系统与工艺紧密结合。
2、精密提拉旋转机构
专利设计，控制精度高，传动平稳，抗干扰能力强，利于晶体生长。
3、高稳定性热场
精确的温度曲线控制，先进模拟软件设计，保证原材料纯度，热变形小，使用寿命长。
4、高效水冷系统
先进的设计制造工艺，炉体冷却效果好，震动小。
5、PAC全自动操作程序
触摸屏操作，人机界面控制系统与工艺紧密结合，可远程控制，信息存储、分析、列表。
产品优势：
1、缩短生长周期，比同类产品周期缩短2-3天。
2、优异的晶体质量，达到光学等级以上。
3、低能耗
设备及热场稳定性高，重复型号，损耗小，且设备能耗低于同类产品20%以上。
4、高取材率
成熟的设备制造技术和长晶工艺，确保晶体取材率≥70%。
5、研发优势
规模化的研发基地，及时进行技术验证及创新，确保产品及技术的成熟性和前沿性。
6、技术培训
拥有研发基地，可验证长晶，为客户提供专业技术培训、设备操作和工艺指导。
7、安全性高
配置真空安全保护装置，安全性能更高。
高效的热场模拟与设计
大幅降低能耗
80kg级长晶成本构成
120kg级长晶成本构成
技术指标：
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TDR85K-II |
TDR120K |
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晶体生长周期 |
18-20天 |
20-25天 |
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晶体质量 |
X射线双晶摇摆半峰宽＜10”；平均位错密度为1×103个/cm2 |
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晶体最大直径 |
300mm |
350mm |
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设备能耗 |
＜2万度 |
＜3万度 |
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设备损耗 |
主要部件使用寿命2年以上 |
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取材率（2吋） |
＞3200mm |
＞5800mm |
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长晶成本 |
¥3.46万元/炉 |
¥5.38万元/炉 |
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晶棒成本（2吋） |
$1.77/mm |
$1.52/mm |
高取材率
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晶体规格 |
80kg级（φmax300×H350mm ） |
120kg级（φmax350×H400mm ） |
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4"晶棒 |
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