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首页 ? 产品中心 ? LED衬底及窗口片设备 ? 泡生法蓝宝石晶体生长炉
设备用途
LED衬底,窗口材料,手机屏,军工领域,智能设备,大规模集成电路SOI 和SOS等等。
设备原理
泡生法:在真空环境中,通过电阻加热将三氧化二铝原料熔化,通过籽晶引导,采用精密上称重技术进行微量提拉生长优质光学级蓝宝石单晶。
产品特点:
1、PLC全自动操作系统
X2技术平台,晶体生长过程(除引晶外)实现全自动化智能操作,生长条件可高度复制;能抗干扰自动调节功率,保证晶体稳定性,实现人机界面控制系统与工艺紧密结合。
2、精密提拉旋转机构
专利设计,控制精度高,传动平稳,抗干扰能力强,利于晶体生长。
3、高稳定性热场
精确的温度曲线控制,先进模拟软件设计,保证原材料纯度,热变形小,使用寿命长。
4、高效水冷系统
先进的设计制造工艺,炉体冷却效果好,震动小。
5、PAC全自动操作程序
触摸屏操作,人机界面控制系统与工艺紧密结合,可远程控制,信息存储、分析、列表。
产品优势:
1、缩短生长周期,比同类产品周期缩短2-3天。
2、优异的晶体质量,达到光学等级以上。
3、低能耗
设备及热场稳定性高,重复型号,损耗小,且设备能耗低于同类产品20%以上。
4、高取材率
成熟的设备制造技术和长晶工艺,确保晶体取材率≥70%。
5、研发优势
规模化的研发基地,及时进行技术验证及创新,确保产品及技术的成熟性和前沿性。
6、技术培训
拥有研发基地,可验证长晶,为客户提供专业技术培训、设备操作和工艺指导。
7、安全性高
配置真空安全保护装置,安全性能更高。
高效的热场模拟与设计
大幅降低能耗
80kg级长晶成本构成
120kg级长晶成本构成
技术指标:
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TDR85K-II |
TDR120K |
晶体生长周期 |
18-20天 |
20-25天 |
晶体质量 |
X射线双晶摇摆半峰宽<10”;平均位错密度为1×103个/cm2 |
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晶体最大直径 |
300mm |
350mm |
设备能耗 |
<2万度 |
<3万度 |
设备损耗 |
主要部件使用寿命2年以上 |
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取材率(2吋) |
>3200mm |
>5800mm |
长晶成本 |
¥3.46万元/炉 |
¥5.38万元/炉 |
晶棒成本(2吋) |
$1.77/mm |
$1.52/mm |
高取材率
晶体规格 |
80kg级(φmax300×H350mm ) |
120kg级(φmax350×H400mm ) |
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4"晶棒 |
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