首页 ? Product ? Vacuum Acquiring Equipment ? Scroll Dry Pump Series
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Used for scientific and chemical analysis An aux.pump in oil-free pumping system |
Used in enclosing room in sem-conductor fab.equipments
An aux.pump in electron miscrope
Used in Ic equipment
Technical Features
Invulnerable to exterior dust contamination
Interior oil-free, clean vacuum assured
Smooth running, low noise
Water cooling unneeded, corrosion-proof
Easy operation, low maintenance expense
Technical specification
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项目内容 Subject |
项目内容 |
技术指标 Specification |
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型号 Model |
型号 |
WXG-4B |
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名义抽速 Nominal pumping rate |
名义抽速 |
4L/S |
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极限压力 Ultimate pressure |
极限压力 |
1Pa |
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涡旋泵漏率 Scroll pump leak rate |
涡旋泵漏率 |
1×10-6 Pa.m3/S，特殊气体可做到1×10-8Pa.m3/S |
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水汽处理能力（开气镇） Steam treatment capacity (gas ballast open) |
水汽处理能力（开气镇） |
25g/day |
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电机参数 Motor parameter |
电机参数 |
三相/单相380V/220V 50Hz 0.55KW |
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转数 Rotation speed |
转数 |
1450rpm（50Hz） |
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环境温度 Temperature |
环境温度 |
5~40℃ |
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噪音 Noise |
噪音 |
＜65dB |
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噪音（气镇） Noise (gas ballast) |
噪音（气镇） |
＜68dB |
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进气口连接法兰 Gas inlet connecting flange |
进气口连接法兰 |
KF25 |
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排气口连接法兰 Gas outlet connecting flange |
排气口连接法兰 |
KF25 |
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外形尺寸（L×W×H） Dimension |
外形尺寸（L×W×H） |
470×270×364（mm） |
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重量 Weight |
重量 |
30Kg |
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